氣體的應用范圍    

氣體產(chǎn)品作為現代工業(yè)重要的基礎原料，應用范圍十分廣泛，在冶金、鋼鐵、石油、化工、機械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫藥醫療等部門(mén)，均使用大量的常用氣體或特種氣體。氣體的應用，特別對這些領(lǐng)域的高新技術(shù)有重要的影響，是其不可缺少的原料氣或工藝氣。也只有各種新興工業(yè)部門(mén)和現代科學(xué)技術(shù)的需要和推動(dòng)，氣體工業(yè)產(chǎn)品才能在品種、質(zhì)量和數量等方面得到飛躍發(fā)展。

氣體在微電子、半導體行業(yè)中應用

氣體的使用在半導體制程中一直扮演著(zhù)重要的角色，特別是半導體制程目前已被廣泛的應用于各項產(chǎn)業(yè)，凡舉傳統的ULSI、TFT-LCD到現在的微機電(MEMS)產(chǎn)業(yè)，皆以所謂的半導體制程為產(chǎn)品的制造流程，其中的制程包括如干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等皆使用到相當多的氣體，而氣體的純度則對組件性能、產(chǎn)品良率有著(zhù)決定性的影響，氣體供應的則關(guān)乎人員的健康與工廠(chǎng)運作。